第74章 绿得让人心安（2/2）

没有人动。

因为所有人都明白，试刻完成，不等于成功。

真正的审判，在扫描电镜之下。

林渊启动真空释放，用真空吸笔将晶圆稳稳取下，转身走向车间东侧的扫描电镜检测区。

他的脚步不快不慢，背影沉稳。

身后，几十道滚烫的目光，紧紧追随着他。

他将晶圆送入样品仓，关闭密封舱门，启动高分辨扫描。

检测区的独立显示屏亮了起来。

几秒钟的加载后，第一张扫描电镜照片，被推送到了屏幕中央。

灰白色的成像画面中，纳米级的电路线条清晰地铺展开来。

线条均匀，边缘锐利，间距精准，没有半点毛刺，没有一处塌陷。

那些被放大到几万倍的微观结构，排列得整整齐齐，干净得近乎不真实，充满了颠覆性的工业美感。

“嘶——”

车间里，压抑的抽气声此起彼伏。

紧跟着，第二张、第三张照片接连弹出，系统自动标注的LWR数据、CDU数据、套刻精度数据，一行行跳出来。

全都是代表达标的绿色。

见状，车间里终于开始有了动静。

研究员们不由自主地长长吐出一口气，紧绷的身体松弛下来，脸上涌出难以自控的狂喜。

但没有人敢在这时放声庆祝。

临门一脚前的任何松懈，对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说，都是大忌。

而在这片压抑的喜悦中，唯有一人，脸上没有丝毫波澜。

林渊站在检测台前，视线在屏幕最后一组数据上停留片刻，随即抬手，关掉了扫描程序。

“很好。”

他说了两个字，转过身，面向屏息等待的众人。

“单片精度验证，通过。”

话音刚落，研究员们脸上的喜色再也抑制不住，有人已经开始用力攥紧拳头，手臂微微颤抖。

紧接着，林渊抬手竖起一根食指，在半空中轻轻晃了晃。

“那么接下来，只差最后一步了。”

最后一步。

魏建成三人齐齐点头，脸上刚刚浮出的喜色收了几分，重新换上绷紧的专注。

单片试刻通过，只证明这台光刻机精度够，能刻，且刻得准。

但它的商用价值，从来不在于“能不能刻好一片”。

而在于，它能不能稳定地、持续地、一片接一片地刻下去，并保证每一片的质量，都和第一片别无二致。

这，叫做批量一致性检测。

是整机验收的最后一关，也是最残酷的一关。

只有这一关跑通了，国产光刻机，才算真正意义上的，研发成功！

所有人都明白这个道理，无需多言。

就在众人准备迎接最后冲刺时，林渊已经重新走回了操作台。

他弯下腰，从台面下方拖出一个此前无人注意的军绿色大号密封运输箱，体积比刚才那个，足足大了三四倍。

“咔哒。”

锁扣弹开，箱盖掀起。

箱内，是一排排码放得整整齐齐的晶圆片盒。

每个片盒中，都静静叠放着二十五片8英寸空白光刻晶圆。

这个数量……

车间里，倒吸凉气的动静，密集得连成了一片。

“林总工……”

魏建成盯着那个大箱子，喉结滚了一下。

“你这是准备……批量测多少片？”

林渊先是从箱中取出一个片盒，动作从容地放入上料口，随即伸出一根手指，轻笑一声道。

“一百。”