第74章 绿得让人心安（1/2）

单片晶圆试刻。

这六个字从林渊口中吐出的那一刻，总装车间里所有人的神经，一下子绷到了极致。

整机总装完成，空载联测跑了两个多小时零报错，这些固然振奋人心。

但在场的人都清楚，空载和实刻之间，隔着一道名为现实的天堑。

空载数据再完美，也只说明这台机器的骨架是好的，能动，能协同。

但光刻机的终极使命，是“刻”。

是把人类智慧凝结成的最精密图案，毫厘不差地蚀刻在那片脆弱的硅晶圆上。

刻不出来，一切归零。

林渊没有给任何人继续酝酿情绪的时间。

他转身，打开操作台旁一个银灰色的密封运输箱，用真空吸笔精准吸起一片8英寸的空白光刻晶圆。

硅片表面镀着一层均匀的光刻胶，在车间的冷白灯光下折射出淡淡的虹彩。

他托着晶圆，动作极稳，将其精准放入工件台的真空吸附卡盘上。

“嗒。”

一声轻响，吸附启动，晶圆被牢牢锁定。

随后，林渊的手指在操控终端上飞速敲击，没有丝毫犹豫，开始导入测试版图。

大屏幕上，一张密密麻麻的电路图案开始加载。

每一根线条的宽度和间距，都被控制在一个极其微小的尺度内，肉眼根本无法分辨其中的具体细节，只能看到一片规整的几何矩阵。

魏建成第一个凑了上来。

他盯着屏幕上那幅版图，瞳仁急剧收缩了一下。

“林总工。”

他的嗓音压得极低，粗重的呼吸在寂静的车间里，显得格外清晰。

“这套版图的线宽……是多少？”

他问出这句话时，贺一诚和杨林也下意识地向前一步，眼神凝重。

林渊头也未回，手指在操控台上完成最后的参数锁定，并淡然吐出三个字。

“十纳米。”

这句话，让在场的众人不禁呆愣住了。

十纳米！？

这根本不是一个简单的数字。

这代表的是当今全球半导体制造工艺金字塔最顶端的第一梯队。

放眼当今世界，能拿出10纳米精度测试版图的国家，一只手绰绰有余。

而这一只手里……没有夏国。

林渊没有给任何人继续震惊的余裕。

他最后确认了一遍所有参数，指尖悬在启动键上方一瞬，随即按了下去。

“启动。”

一声低沉的电子提示音响过。

整台光刻机的指示灯阵列，由待机的冷蓝同步切换为运行的暖白。

光源模块率先启动，超导加速腔内的低温循环系统发出极其细微的嗡鸣，EUV光束在密封光路中完成了第一次脉冲输出。

大屏幕上，各项实时参数同步跳动。

光源功率、曝光剂量、工件台位移精度、对准偏差值……

所有数据，稳如泰山，绿得让人心安。

整个过程，全自动运行。

没有任何调试卡顿，没有任何参数需要临时修正。

从光束引出到掩模版对准，从曝光窗口移动到工件台步进换场，每一个环节都衔接得天衣无缝。

车间里的所有人，都下意识地屏住了呼吸。

几十双眼睛，死死盯着大屏幕上那些稳定跳动的绿色数字。

三十秒。

一分钟。

两分钟。

整个试刻流程没有出现任何中断。

当最后一组曝光序列完成，操控台弹出“工作完成”的绿色提示时，车间里依然鸦雀无声。

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